真空手套箱是一种实验室设备,主要用于在无水、无氧、无尘的超纯环境中进行科学实验和生产操作。以下是对真空手套箱的详细介绍:
一、基本概念
定义:真空手套箱是将高纯惰性气体(如氮气或氙气)充入密闭的箱体内,并通过净化系统循环过滤掉其中的活性物质(如氧气、水分和有机气体)的设备。别称:也称手套箱、惰性气体保护箱、干箱。
二、主要功能与特点
1.清除活性物质:主要对氧气(O2)、水分(H20)和有机气体进行清除,使箱体内环境达到高纯度。
2.超纯环境:广泛应用于需要无水、无氧、无尘环境的领域,如锂离子电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊等。
3.密闭循环:真空手套箱和气体净化系统构成一个密闭的循环系统,由气体净化系统提供气体循环动力,保持箱体内环境的稳走性。
4.人机对话:配置彩色触摸屏,中文界面,实现人机对话,操作便捷。
5.自动控制:集成彩色触摸屏的人机界面和PLC程序控制系统,对系统进行自动控制,包括箱体压力、气体净化状态等。
三、技术指标
水含量:小于1ppm
氧含量:小于1ppm泄漏率:≤0.05Vol%/h过渡舱真空度:可承受真空度≥100pa
四、配置清单
箱体、机架、工具过渡舱、物料过渡舱、搁物架、可视面板、手套孔、手套电源插座、照明系统、HEPA过滤器、真空表、压力表、脚踏控制器气体净化系统、PLC控制系统、有机气体吸附器、真空泵、水传感仪、氧传感仪、压力传感仪、加热系统、冷冻系统等。